一種納米金剛石氟化液流體的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110252596.4 申請日 -
公開(公告)號 CN113265231A 公開(公告)日 2021-08-17
申請公布號 CN113265231A 申請公布日 2021-08-17
分類號 C09K5/10(2006.01)I;G06F1/20(2006.01)I;C01B32/28(2017.01)I 分類 染料;涂料;拋光劑;天然樹脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 張耀中 申請(專利權(quán))人 南京微米電子產(chǎn)業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞華騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 邱歡歡
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)星火路19號星智匯商務(wù)花園9棟2樓223
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種納米金剛石氟化液流體的制備方法,包括:S1:原料準(zhǔn)備;S2:在上述前驅(qū)體溶液外布置水流冷凝循環(huán)系統(tǒng),確保一直處于室溫狀態(tài),并對前驅(qū)體溶液進(jìn)行進(jìn)行超聲震蕩;S3:對上述超聲震蕩后的前驅(qū)體溶液用脈沖激光連續(xù)輻照,每隔2小時對溶液取樣,測試溶液的電阻率,當(dāng)電阻率大于1×10歐姆·米,停止輻照,得到納米金剛石氟化液流體濃縮液;S4:將上述制備得到的納米金剛石氟化液流體濃縮液按體積比為1:100添加到氟化液溶液中,得到納米金剛石氟化液流體。本發(fā)明其原料來源廣泛,價格便宜;且生產(chǎn)步驟簡單,非常方便大量的工業(yè)生產(chǎn)。