一種氣體傳感器檢測恢復裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202022268139.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN214067058U | 公開(公告)日 | 2021-08-27 |
申請公布號 | CN214067058U | 申請公布日 | 2021-08-27 |
分類號 | G01N33/00(2006.01)I;G01N1/38(2006.01)I;G01N1/44(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 楊志;朱劍波;蔣文凱;王濤;齊燕 | 申請(專利權)人 | 南京微米電子產業(yè)研究院有限公司 |
代理機構 | 南京瑞華騰知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 梁金娟 |
地址 | 210000江蘇省南京市江北新區(qū)星火路19號星智匯商務花園14—2棟四層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種氣體傳感器檢測恢復裝置,包括通過連通管依次連通的壓縮氣體瓶、混合氣體裝置以及檢測腔,混合氣體裝置包括多級,各級混合氣體裝置的內部均設置有氣體混合結構,檢測腔的頂端設置有檢測帽,檢測帽的頂部設置有上沿蓋,上沿蓋的上表面可拆卸設置有支架,支架下表面設置有激光燈,檢測腔的底部設置有加熱倉,且檢測腔與加熱倉之間設置有下沿蓋,且下沿蓋用于熱傳導,加熱倉的內部設置有加熱燈。該氣體傳感器檢測恢復裝置設置了多級混合氣體裝置,讓氣流更加溫和的通過檢測腔,防止損傷傳感器;設置了加熱燈,使檢測腔內的氣體分子混合充分,加速排出腔室;設置了激光燈加速傳感器上附著的氣體分子脫附。 |
