一種氣體傳感器檢測恢復(fù)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022268139.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214067058U 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN214067058U 申請公布日 2021-08-27
分類號 G01N33/00（2006.01）I;G01N1/38（2006.01）I;G01N1/44（2006.01）I;G01N1/28（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊志;朱劍波;蔣文凱;王濤;齊燕 申請（專利權(quán)）人 南京微米電子產(chǎn)業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞華騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 梁金娟
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)星火路19號星智匯商務(wù)花園14—2棟四層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種氣體傳感器檢測恢復(fù)裝置，包括通過連通管依次連通的壓縮氣體瓶、混合氣體裝置以及檢測腔，混合氣體裝置包括多級，各級混合氣體裝置的內(nèi)部均設(shè)置有氣體混合結(jié)構(gòu)，檢測腔的頂端設(shè)置有檢測帽，檢測帽的頂部設(shè)置有上沿蓋，上沿蓋的上表面可拆卸設(shè)置有支架，支架下表面設(shè)置有激光燈，檢測腔的底部設(shè)置有加熱倉，且檢測腔與加熱倉之間設(shè)置有下沿蓋，且下沿蓋用于熱傳導(dǎo)，加熱倉的內(nèi)部設(shè)置有加熱燈。該氣體傳感器檢測恢復(fù)裝置設(shè)置了多級混合氣體裝置，讓氣流更加溫和的通過檢測腔，防止損傷傳感器；設(shè)置了加熱燈，使檢測腔內(nèi)的氣體分子混合充分，加速排出腔室；設(shè)置了激光燈加速傳感器上附著的氣體分子脫附。