打拿極型光電倍增管陰極和打拿極瓦片鍍膜設備及鍍膜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110723430.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113445009A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113445009A 申請公布日 2021-09-28
分類號 C23C14/30（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;H01J9/12（2006.01）I;H01J43/08（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王亮;王興超;孫建寧;司曙光;任玲;顧燕;金睦淳;徐海洋;紀路路;周新 申請（專利權）人 北方夜視科技（南京）研究院有限公司
代理機構 南京行高知識產權代理有限公司 代理人 王菊花;張康
地址 211106江蘇省南京市江寧區(qū)秣陵街道康平街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光電倍增管制作技術領域，具體而言涉及打拿極型光電倍增管陰極和打拿極瓦片鍍膜設備及鍍膜方法，包括：多個罩體，每個罩體均被設置成具有密封狀態(tài)和開放狀態(tài)，所述罩體處于密封狀態(tài)時，內部形成鍍膜腔室；鍍膜系統，被設置在所述鍍膜腔室內；主抽系統，包括主抽泵和連接到主抽泵抽氣端的主抽管道，所述主抽管道第二端連接到所述鍍膜腔室。對主抽泵進行隔離而不停機，破壞鍍膜腔室的真空狀態(tài)后使用預抽系統建立真空度優(yōu)于10Pa的負壓環(huán)境，再打開主抽泵的隔離，無需破除整個鍍膜機系統的真空，無需頻繁停啟主抽泵，極大縮短了單輪次鍍膜的裝卸瓦片及排氣抽真空時間，提高鍍膜效率。