一種制備塑性提高的非晶/非晶納米多層薄膜的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810327877.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108588646B 公開(kāi)（公告）日 2020-05-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN108588646B 申請(qǐng)公布日 2020-05-22
分類號(hào) C23C14/16;C23C14/35;C23C28/02 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王飛;李佳樂(lè);黃平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州博志金鉆科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 田洲
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)長(zhǎng)亭路8號(hào)大新科技園3幢二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種制備塑性提高的非晶/非晶納米多層薄膜的方法，采用磁控濺射的方法沉積第一非晶層，然后在第一非晶層上再沉積第二非晶層，交替沉積形成非晶/非晶納米多層薄膜。本發(fā)明制備的多層膜界面明晰,可以很容易通過(guò)控制單層薄膜的厚度來(lái)得到塑性提高的多層薄膜，從而為制備力學(xué)性能可控的非晶/非晶納米多層薄膜材料提供可能。