一種基于PVD沉積方法的氮化鋁陶瓷板和金屬的連接方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810785085.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109136848B 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN109136848B 申請公布日 2020-04-28
分類號 C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C04B37/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋忠孝;張宏凱;李雁淮;李響 申請（專利權(quán)）人 蘇州博志金鉆科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 徐文權(quán)
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)長亭路8號大新科技園3幢二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于PVD沉積方法的氮化鋁陶瓷板和金屬的連接方法，所述的方法是：首先在氮化鋁陶瓷板表面通過PVD沉積方法形成一層鈦膜，然后再沉積一定厚度的銀錫層，接著用夾持模具將氮化鋁陶瓷板鍍膜面和鍍有銅膜的金屬板(塊)貼合并施加一定的壓力，最后放入真空退火爐中加熱并保溫，即可實(shí)現(xiàn)氮化鋁陶瓷板和金屬的高強(qiáng)度連接。本發(fā)明在獲得氮化鋁陶瓷板與金屬高焊接強(qiáng)度的同時，簡化了傳統(tǒng)陶瓷金屬連接方法工藝，避免了直接覆銅法中靠氧化物結(jié)合而導(dǎo)致的結(jié)合面氣密性的問題，而且還提高了基板的導(dǎo)熱和散熱性能。