一種氨水溶液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420491657.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN204147826U 公開(公告)日 2015-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN204147826U 申請(qǐng)公布日 2015-02-11
分類號(hào) B01F15/04(2006.01)I;B01F15/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 熊誠雷;魏海霞 申請(qǐng)(專利權(quán))人 洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氨水溶液自動(dòng)配置供應(yīng)裝置,適用于擦片清洗機(jī)去除單晶硅拋光片表面污染物。本實(shí)用新型主要由原液罐(1)、配置罐(6)、計(jì)量泵(12)、氮?dú)夤?yīng)管路(19)、氮?dú)馄胶夤苈罚?1)、純水管路(20)、氨水溶液供應(yīng)管(27)、控制柜(30)構(gòu)成;配置氨水溶液時(shí),控制柜(30)觸發(fā)計(jì)量泵(12)工作和打開純水供應(yīng)電磁閥(23),濃氨水被計(jì)量泵(12)從原液罐(1)打入配置罐(6)與純水按比例混合稀釋,氮?dú)馔ㄈ朐汗蓿?)和配置罐(6)產(chǎn)生足夠的壓力保證氨水溶液從擦片清洗機(jī)噴嘴呈扇形噴出。本實(shí)用新型安裝簡(jiǎn)單,占地空間小,操作方便,可自動(dòng)連續(xù)配置供應(yīng)氨水溶液,顯著降低了勞動(dòng)強(qiáng)度,明顯提高了工作效率。