一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420491373.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204148160U 公開(kāi)（公告）日 2015-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN204148160U 申請(qǐng)公布日 2015-02-11
分類號(hào) B08B1/00(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 吳躍峰;苗立剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)明律專利代理事務(wù)所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，適用于在單晶硅硅片施加背風(fēng)片的工藝過(guò)程中清除沉積在排氣罩上的二氧化硅揮發(fā)物，所述的除塵工具主要由加長(zhǎng)扁管（1）、毛刷頭（2）、刷毛（3）構(gòu)成。加長(zhǎng)扁管（1）的管口呈矩形狀，毛刷頭（2）前端面設(shè)計(jì)成平面，側(cè)面設(shè)計(jì)成圓形弧度面并加工有開(kāi)孔（4），開(kāi)孔（4）上與毛刷頭（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本實(shí)用新型可輕松刷掉排氣罩深處及弧度處的沉積物，同時(shí)由于毛刷頭（2）與加長(zhǎng)扁管（1）的吸頭（6）組合成一體，使得刷掉的沉積物可立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境。