一種拋光機(jī)拋光液管路純水反沖裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491658.2 申請日 -
公開（公告）號 CN204149032U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204149032U 申請公布日 2015-02-11
分類號 B24B57/00(2006.01)I;B08B9/032(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 卓元 申請（專利權(quán)）人 洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種拋光機(jī)拋光液管路純水反沖裝置。本實(shí)用新型公開的拋光機(jī)拋光液管路純水反沖裝置主要是由純水供應(yīng)球閥（1）、純水流量計（2）、單向閥（3）、三通接頭（4）、單向閥（5）構(gòu)成,純水供應(yīng)球閥（1）、純水流量計（2）、單向閥（3）依次串聯(lián)后與三通接頭（4）的第二支路聯(lián)接，單向閥（5）的出口與三通接頭（4）的第一支路聯(lián)接，三通接頭（4）的第三支路與拋光機(jī)內(nèi)部拋光液管路聯(lián)接。本實(shí)用新型公開的拋光液管路純水反沖裝置結(jié)構(gòu)簡單，安裝操作方便，安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機(jī)拋光液管路中結(jié)晶的形成，降低了設(shè)備故障率，增強(qiáng)了工藝穩(wěn)定性，明顯地提高了產(chǎn)品收率。