一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491658.2 申請日 -
公開（公告）號 CN204149032U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204149032U 申請公布日 2015-02-11
分類號 B24B57/00(2006.01)I;B08B9/032(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 卓元 申請（專利權）人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
代理機構 洛陽明律專利代理事務所 代理人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)技術領域，主要涉及一種拋光機拋光液管路純水反沖裝置。本實用新型公開的拋光機拋光液管路純水反沖裝置主要是由純水供應球閥（1）、純水流量計（2）、單向閥（3）、三通接頭（4）、單向閥（5）構成,純水供應球閥（1）、純水流量計（2）、單向閥（3）依次串聯(lián)后與三通接頭（4）的第二支路聯(lián)接，單向閥（5）的出口與三通接頭（4）的第一支路聯(lián)接，三通接頭（4）的第三支路與拋光機內(nèi)部拋光液管路聯(lián)接。本實用新型公開的拋光液管路純水反沖裝置結構簡單，安裝操作方便，安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機拋光液管路中結晶的形成，降低了設備故障率，增強了工藝穩(wěn)定性，明顯地提高了產(chǎn)品收率。