一種新型過濾器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491671.8 申請日 -
公開（公告）號 CN204151450U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204151450U 申請公布日 2015-02-11
分類號 C30B15/00;C30B29/06;B01D46/24 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李京濤;王新 申請（專利權(quán)）人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
代理機構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型過濾器，適用于單晶硅拉制過程中產(chǎn)生的氧化物的過濾、清理。本實用新型主要是由上支撐板（1）、下支撐板（2）、提手（3）、外層支撐架（4）、內(nèi)層支撐架（5）、過濾網(wǎng)（6）、排氣孔（7）構(gòu)成。本實用新型設(shè)計體積比傳統(tǒng)過濾器小1倍，寬度500~800mm的過濾網(wǎng)（6）依次穿過內(nèi)層支撐架（5）和外層支撐架（4）構(gòu)成一個封閉空間，其過濾面積比傳統(tǒng)過濾器增加4～5倍。能夠?qū)尉Ю七^程中產(chǎn)生的氧化物分散到更大的面積上。本實用新型采用一體式設(shè)計，質(zhì)量輕，便于清理。明顯提高了真空泵的抽氣率，提高真空泵的使用壽命。