一種單晶爐循環(huán)水換熱系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491659.7 申請日 -
公開（公告）號 CN204151449U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204151449U 申請公布日 2015-02-11
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 鄧德翼;仝泉;高林育 申請（專利權(quán)）人 洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶爐循環(huán)水換熱系統(tǒng)，適用于單晶生長過程中對單晶爐體進(jìn)行降溫冷卻。本實用新型通過換熱系統(tǒng)中冷卻水換熱裝置（4）中冷凍水管路（3）中的冷凍水和純水原水換熱裝置（6）中的純水原水管路（9）中的純水原水對循環(huán)水在進(jìn)入單晶爐前進(jìn)行降溫和對出單晶爐（5）后的回流循環(huán)水進(jìn)行降溫的同時，提升制備高純水用的純水原水溫度。本實用新型有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中冷卻循環(huán)水在進(jìn)入單晶爐時溫度控制出現(xiàn)波動、影響單晶生長的問題，并且利用純水原水給單晶爐循環(huán)水回水降溫的同時也提升了純水原水水溫使其符合制備高純水的溫度要求，本實用新型減少了設(shè)備投資，節(jié)省了大量能源，降低了生產(chǎn)成本。