一種單晶爐循環(huán)水換熱系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420491659.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204151449U 公開(kāi)（公告）日 2015-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN204151449U 申請(qǐng)公布日 2015-02-11
分類號(hào) C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 鄧德翼;仝泉;高林育 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)明律專利代理事務(wù)所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶爐循環(huán)水換熱系統(tǒng)，適用于單晶生長(zhǎng)過(guò)程中對(duì)單晶爐體進(jìn)行降溫冷卻。本實(shí)用新型通過(guò)換熱系統(tǒng)中冷卻水換熱裝置（4）中冷凍水管路（3）中的冷凍水和純水原水換熱裝置（6）中的純水原水管路（9）中的純水原水對(duì)循環(huán)水在進(jìn)入單晶爐前進(jìn)行降溫和對(duì)出單晶爐（5）后的回流循環(huán)水進(jìn)行降溫的同時(shí)，提升制備高純水用的純水原水溫度。本實(shí)用新型有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中冷卻循環(huán)水在進(jìn)入單晶爐時(shí)溫度控制出現(xiàn)波動(dòng)、影響單晶生長(zhǎng)的問(wèn)題，并且利用純水原水給單晶爐循環(huán)水回水降溫的同時(shí)也提升了純水原水水溫使其符合制備高純水的溫度要求，本實(shí)用新型減少了設(shè)備投資，節(jié)省了大量能源，降低了生產(chǎn)成本。