一種箱式石英坩堝檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420491663.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN204151453U 公開（公告）日 2015-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN204151453U 申請(qǐng)公布日 2015-02-11
分類號(hào) C30B15/26(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 王新 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)明律專利代理事務(wù)所 代理人 洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種箱式石英坩堝檢測(cè)裝置，適用于硅單晶生產(chǎn)中對(duì)石英坩堝是否存在裂紋、氣泡、沾污、劃痕等缺陷的檢測(cè)。本實(shí)用新型所述的檢測(cè)裝置，主要是由箱體（1）、旋轉(zhuǎn)盤（2）、滾輪（3）、支撐架（4）、檢測(cè)燈（5）、防碰撞玻璃（6）、軸承（8）、不銹鋼圓柱（10）、保護(hù)套（11）構(gòu)成；其中兩個(gè)滾輪（3）通過支撐架（4）平行安裝固定在立方形狀的箱體（1）下底面上設(shè)置的旋轉(zhuǎn)盤（2）上，箱體（1）的后立面上裝有一個(gè)圓形檢測(cè)燈（5）。將石英坩堝（7）放置在兩個(gè)滾輪（3）上，打開檢測(cè)燈（5），用手轉(zhuǎn)動(dòng)石英坩堝（7），這時(shí)滾輪（3）及旋轉(zhuǎn)盤（2）便隨著旋轉(zhuǎn)，便可檢測(cè)到石英坩堝（7）是否存在缺陷。本實(shí)用新型操作簡(jiǎn)便，高純潔凈，安全可靠，有效的解決了現(xiàn)有檢測(cè)手段中所存在的不足。