一種用于光學投影光刻機的自動對焦裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020452674.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211786585U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211786585U 申請公布日 2020-10-27
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 黃燕燕;王笑冰;闞凌雁;柯華恒 申請（專利權）人 深圳市深大極光科技股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳市科進知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 曹衛(wèi)良
地址 518132廣東省深圳市光明新區(qū)田寮社區(qū)聚匯工業(yè)園1棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的用于光學投影光刻機的自動對焦裝置，包括激光器、激光能量調(diào)節(jié)器、擴束器、準直透鏡、叉絲、成像透鏡、分光棱鏡、監(jiān)視系統(tǒng)透鏡、監(jiān)視系統(tǒng)、二向色鏡、電子變焦透鏡、投影微縮鏡頭、感光材料及光刻平臺，所述感光材料位于所述光刻平臺上，本實用新型提供的用于光學投影光刻機的自動對焦裝置及對焦方法，通過改變電子變焦透鏡的焦距來對焦，調(diào)節(jié)響應速度快，與機械對焦相比可以快速地使光刻機的光刻圖像重新對準焦，適用于光刻機需要快速工作的要求。??