一種單晶爐用電極的密封裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120253674.4 申請日 -
公開（公告）號 CN202214453U 公開（公告）日 2012-05-09
申請公布號 CN202214453U 申請公布日 2012-05-09
分類號 C30B35/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐建軍;錢榮林 申請（專利權(quán)）人 浙江捷陽新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天正專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江榮馬電子科技有限公司
地址 324300 浙江省開化縣工業(yè)園區(qū)茶場片區(qū)(榮馬電子)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種單晶爐用電極的密封裝置，在加熱器下端面與爐底盤上端面之間的電極上設(shè)有內(nèi)部密封保護(hù)圈組，在爐底盤下端面的電極上設(shè)有硬質(zhì)材料密封保護(hù)圈和軟質(zhì)材料密封保護(hù)圈，且硬質(zhì)材料密封保護(hù)圈的二面上分別開有凹槽，凹槽內(nèi)分別設(shè)有軟質(zhì)材料密封保護(hù)圈。采用本實(shí)用新型，因硬質(zhì)材料密封保護(hù)圈和軟質(zhì)材料密封保護(hù)圈位于爐底盤下端面，不易受熱老化，可以提高單晶爐的密封效果，防止硅料氧化，達(dá)到提高成品率的目的。