一種多線切割硅片的工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110066758.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102152419A 公開（公告）日 2011-08-17
申請公布號 CN102152419A 申請公布日 2011-08-17
分類號 B28D5/04(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 錢榮林;聶在涌 申請（專利權）人 浙江捷陽新能源有限公司
代理機構 杭州天正專利事務所有限公司 代理人 浙江榮馬電子科技有限公司
地址 324300 浙江省開化縣工業(yè)園區(qū)茶場片區(qū)(榮馬電子)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多線切割硅片的工藝，該工藝先將鋼線安裝在多線切割機上，然后讓鋼線采取雙向走線的方法并保持一定走線速度切割硅片；之后，當鋼線走線完畢并卷收在收線輪上時，將放線輪與收線輪的位置互換，測量鋼線的直徑，更換成符合鋼線粗細要求的具有相應槽距的主輥，重新安裝在多線切割機上，然后將鋼線采取單向走線的方法并保持走線速度在原雙向走線速度的1.5～2.5倍之間切割硅片即可。采用本發(fā)明方法，可以在多線切割硅片的過程中，將使用的鋼線用量降低三分之一，提高了鋼線的利用率，同時，由雙向走線改成單向走線后繼續(xù)切割，鋼線更細，槽距更小，還可增加硅片的出片數(shù)。