一種多晶元盤移載存放機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011284291.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112644985A 公開（公告）日 2021-04-13
申請公布號 CN112644985A 申請公布日 2021-04-13
分類號 B65G35/00;B65G47/22;B65G43/08;B65G57/30;H01L21/673 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 賀云波;言益軍;王波;劉青山;崔成強 申請（專利權(quán)）人 寧波阿凡達半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 寧波甬致專利代理有限公司 代理人 李迎春
地址 315200 浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)蛟川街道鎮(zhèn)寧西路123號西電寧波產(chǎn)業(yè)園C幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，它包括有多工位底板和底座，多工位底板滑動安裝在底座上，多工位底板上安裝自動收集裝置，自動收集裝置包括氣缸、左側(cè)扶板、右側(cè)扶板、后擋板和抬升底板，左側(cè)扶板、右側(cè)扶板和后擋板圍繞在用于存放晶元載盤區(qū)間的四周中三個方向，抬升底板位于該區(qū)間的底部，且氣缸驅(qū)動抬升底板上下移動，對稱設(shè)置的可調(diào)式左限位和可調(diào)式右限位相對面上設(shè)有止擋塊，止擋塊端側(cè)與反復(fù)堆垛在存放晶元載盤區(qū)間內(nèi)的晶元載盤邊緣相抵；本發(fā)明中公開了一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，包括有自動收集裝置，其利用氣缸和止擋塊可以實現(xiàn)簡單便捷的收集和堆疊動作，降低了人工成本，提升資源利用效率。