一種晶元盤推送機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022652108.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213864296U 公開（公告）日 2021-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN213864296U 申請(qǐng)公布日 2021-08-03
分類號(hào) B65G47/82（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 賀云波;言益軍;王波;劉青山;崔成強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波阿凡達(dá)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波甬致專利代理有限公司 代理人 李迎春
地址 315200浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)蛟川街道鎮(zhèn)寧西路123號(hào)西電寧波產(chǎn)業(yè)園C幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶元盤推送機(jī)構(gòu)，它包括可調(diào)節(jié)式底板；頂桿；驅(qū)動(dòng)裝置，包括絲桿和步進(jìn)電機(jī)，絲桿和步進(jìn)電機(jī)平行設(shè)置在可調(diào)節(jié)式底板上，絲桿端部設(shè)有同步帶輪，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸上設(shè)有驅(qū)動(dòng)帶輪，驅(qū)動(dòng)帶輪與同步帶輪之間通過同步帶連接；自適應(yīng)推力裝置，其包括驅(qū)動(dòng)塊和滑動(dòng)塊，驅(qū)動(dòng)塊與滑動(dòng)塊之間設(shè)有內(nèi)置彈簧，驅(qū)動(dòng)塊與絲桿螺紋連接，滑動(dòng)塊與可調(diào)節(jié)式底板滑動(dòng)連接，頂桿安裝在滑動(dòng)塊上；本實(shí)用新型提出了一種晶元盤推送機(jī)構(gòu)，其采用步進(jìn)電機(jī)與同步帶輪的組合，使得驅(qū)動(dòng)力穩(wěn)定，為了使得晶元盤可以在移動(dòng)過程中更加柔和，本實(shí)用新型采用了自適應(yīng)推力裝置，來保證與晶元盤接觸時(shí)有著足夠的緩沖力，使其可以平穩(wěn)到達(dá)指定位置。