電極引入裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110261064.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102321877B 公開（公告）日 2013-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN102321877B 申請(qǐng)公布日 2013-08-07
分類號(hào) C23C16/50(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭建宇;宋曉彬;王廣明;桂曉波;楊光;唐亞非 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，公開了一種電極引入裝置，其包括兩個(gè)并列設(shè)置的電極支架；每個(gè)電極支架的一端與一個(gè)爐門電極相連，另一端為金屬觸頭，與石墨舟上的電極塊相連；還包括穿過爐門的連接桿，其伸入爐門內(nèi)側(cè)的一端連接石墨舟支撐桿，所述石墨舟支撐桿為至少兩根并列的碳化硅棒。本發(fā)明中，電極引入裝置采用搭接形式，依托電極支架將金屬觸頭直接和爐門電極連接起來，石墨舟上的兩個(gè)石墨墊塊充當(dāng)兩電極塊，每個(gè)金屬觸頭上，與電極塊上凹槽相接觸的位置設(shè)置有凸起，接觸良好，自動(dòng)化程度高；碳化硅雙棒耐溫在1000多度，不易變形，提高電極接觸的穩(wěn)定性；機(jī)械機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，裝配難度降低。