凸輪式盤(pán)狀物夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210004761.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102593033A 公開(kāi)（公告）日 2012-07-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN102593033A 申請(qǐng)公布日 2012-07-18
分類(lèi)號(hào) H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 凱里·雷;賈星杰;吳儀;王波雷;張豹 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種凸輪式盤(pán)狀物夾持裝置，包括：凸輪；卡盤(pán)，其下方中心與所述凸輪連接；夾持機(jī)構(gòu)，均設(shè)置在所述卡盤(pán)上，包括L型延長(zhǎng)桿，所述延長(zhǎng)桿一端伸入進(jìn)卡盤(pán)中并與凸輪圓周接觸，另一端朝向上方且安裝有用于夾持盤(pán)狀物的夾持件。本發(fā)明能夠方便快捷的實(shí)現(xiàn)對(duì)盤(pán)狀物的夾持，且本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、易于實(shí)現(xiàn)。