一種外延片的快速研磨方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111251036.3 申請日 -
公開(公告)號 CN113696091B 公開(公告)日 2022-02-08
申請公布號 CN113696091B 申請公布日 2022-02-08
分類號 B24B37/08(2012.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B41/02(2006.01)I 分類 磨削;拋光;
發(fā)明人 王巖;徐鵬飛;羅帥;季海銘 申請(專利權)人 江蘇華興激光科技有限公司
代理機構 江蘇長德知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 詹朝
地址 221300江蘇省徐州市邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河西路北側、華山北路西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明外延片加工技術領域,公開了一種外延片的快速研磨裝置,包括機架以及設于機架上的上料機構和研磨機構,其中上料機構包括上料架,上料架上設有前后方向上設置的滑軌,滑軌上通過滑塊設置上料平臺,上料架上設有用于驅(qū)動上料平臺沿滑軌前后方向上移動的直線驅(qū)動機構;上料平臺上設有上料帶,上料帶包括多個料座,料座上設有用于容納工件的圓筒,料座的底部設有用于控制圓筒底部開口的開合的開關單元;上料帶前側或后側的上料平臺上設有與開關單元的撥片配合的擋板,料座通過擋板時開關單元的撥片被擋板推動打開圓筒的開口;本發(fā)明通過上料機構對外延片工件進行自動化的上料,提高外延片研磨加工的自動化程度。