一種外延片的存儲運輸方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111237173.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113675120B 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN113675120B 申請公布日 2022-02-08
分類號 H01L21/677（2006.01）I;B65H5/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐鵬飛;王文知;王巖;羅帥;季海銘 申請（專利權）人 江蘇華興激光科技有限公司
代理機構 江蘇長德知識產權代理有限公司 代理人 詹朝
地址 221300江蘇省徐州市邳州經濟開發(fā)區(qū)遼河西路北側、華山北路西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體加工技術領域，公開了一種外延片的存儲運輸裝置，包括輸送機構和存儲機構，其中存儲機構包括多個存儲單元，存儲單元與存儲單元之間通過連接帶連接構成帶狀結構，連接帶的材料為柔性材料，存儲單元包括存儲座，存儲座上設有存儲筒，存儲筒的頂部設有開口，存儲筒的頂部開口上設有用于控制開口開合的開關單元，輸送機構包括機架，機架上設有兩個對稱設置的鏈條，鏈條由多個鏈節(jié)連接構成，相鄰的鏈節(jié)之間通過銷軸轉動的連接，鏈節(jié)的鏈板上設有用于夾持存儲機構的夾具；本發(fā)明通過存儲機構有序的存儲外延片，有利于后續(xù)的加工。