一種基于光子激勵的光波導(dǎo)導(dǎo)波特性改善方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910199281.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101762844B 公開（公告）日 2011-04-27
申請公布號 CN101762844B 申請公布日 2011-04-27
分類號 G02B6/10(2006.01)I;H04B10/12(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳抱雪;簡平榮;周依群;周建忠 申請（專利權(quán)）人 福建美弗信光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 翁若瑩
地址 200233 上海市徐匯區(qū)虹漕路421號65幢4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于光子激勵的光波導(dǎo)導(dǎo)波特性改善方法，其特征在于，步驟為：采用紫外光由石英光波導(dǎo)的上包層的上表面垂直入射輻照石英光波導(dǎo)，在室溫中放置后，再用紫外光和紅外光分別從上包層的上表面垂直及側(cè)面入射，隨后在室溫中放置。本發(fā)明在用現(xiàn)行光波導(dǎo)制造技術(shù)制備完成的石英光波導(dǎo)芯片上實(shí)施，是對現(xiàn)行石英光波導(dǎo)制造技術(shù)的一種后續(xù)工藝發(fā)展，其優(yōu)點(diǎn)是：可明顯改善石英光波導(dǎo)光學(xué)特性。