一種實現(xiàn)激光掃描與同軸監(jiān)控一體的高倍顯微物鏡光路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710762635.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107329240A 公開（公告）日 2017-11-07
申請公布號 CN107329240A 申請公布日 2017-11-07
分類號 G02B13/00(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B21/02(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 梁思遠(yuǎn);王國力;吳玉堂;黃勝弟;朱敏 申請（專利權(quán)）人 光研科技南京有限公司
代理機構(gòu) 南京天翼專利代理有限責(zé)任公司 代理人 南京波長光電科技股份有限公司;南京光研軟件系統(tǒng)有限公司
地址 211123 江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種實現(xiàn)激光掃描與同軸監(jiān)控一體的高倍顯微物鏡光路系統(tǒng)，包括依次相接的總孔徑光闌、大角度望遠(yuǎn)光路、分光棱鏡和高倍率顯微物鏡光路；其中，總孔徑光闌的光路軸線和大角度望遠(yuǎn)光路的光路軸線重合；大角度望遠(yuǎn)光路的光路軸線與高倍率顯微物鏡光路的光路軸線相互垂直。本發(fā)明利用大角度望遠(yuǎn)系統(tǒng)將激光掃描光路的孔徑光闌與顯微物鏡孔徑光闌匹配，解決了激光掃描光路要求孔徑光闌前置與高倍顯微物鏡光路要求將孔徑光闌中置的矛盾；滿足激光平場掃描系統(tǒng)要求將總孔徑光闌前置，同時第二透鏡組作為高倍顯微物鏡實現(xiàn)對激光標(biāo)記或打孔的高倍率監(jiān)控；整個光路系統(tǒng)作為激光掃描系統(tǒng)滿足遠(yuǎn)心掃描條件；通過一個分光棱鏡可以實現(xiàn)激光與可見光波段分光。