一種以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710570521.4 申請日 -
公開（公告）號 CN107227460B 公開（公告）日 2019-09-06
申請公布號 CN107227460B 申請公布日 2019-09-06
分類號 C23C28/04（2006.01）I; C23C14/46（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李全民; 吳玉堂; 朱敏; 黃勝弟; 王國力 申請（專利權(quán)）人 光研科技南京有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京波長光電科技股份有限公司; 南京光研軟件系統(tǒng)有限公司
地址 211123 江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜及其制備方法。以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜，包括硫系紅外玻璃基底層、DLC膜層、以及設(shè)在硫系紅外玻璃基底層和DLC膜層之間的粘結(jié)層，粘結(jié)層包括相互交替的ZnSe層和Ge層，ZnSe層有2?5層。本發(fā)明以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜，具有優(yōu)異的增透效果、耐溫性能、機械強度和附著力，且制備簡單、易操作。