一種以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710570521.4 申請日 -
公開(公告)號 CN107227460A 公開(公告)日 2017-10-03
申請公布號 CN107227460A 申請公布日 2017-10-03
分類號 C23C28/04(2006.01)I;C23C14/46(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李全民;吳玉堂;朱敏;黃勝弟;王國力 申請(專利權(quán))人 光研科技南京有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京天翼專利代理有限責(zé)任公司 代理人 南京波長光電科技股份有限公司;南京光研軟件系統(tǒng)有限公司
地址 211123 江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜及其制備方法。以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜,包括硫系紅外玻璃基底層、DLC膜層、以及設(shè)在硫系紅外玻璃基底層和DLC膜層之間的粘結(jié)層,粘結(jié)層包括相互交替的ZnSe層和Ge層,ZnSe層有2?5層。本發(fā)明以硫系紅外玻璃為基底的增透DLC膜,具有優(yōu)異的增透效果、耐溫性能、機(jī)械強(qiáng)度和附著力,且制備簡單、易操作。