一種DSOI應(yīng)變計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520485749.X 申請日 -
公開（公告）號 CN204788239U 公開（公告）日 2015-11-18
申請公布號 CN204788239U 申請公布日 2015-11-18
分類號 G01B7/16(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈紹群;羅小勇;梁棟漢 申請（專利權(quán)）人 新會康宇測控儀器儀表工程有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 新會康宇測控儀器儀表工程有限公司;上海旦宇傳感器科技有限公司;廣東和宇傳感器有限公司
地址 529100 廣東省江門市新會區(qū)會城西門路圭峰高科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種DSOI應(yīng)變計，包括應(yīng)變計，應(yīng)變計包括襯底層和器件薄膜層，所述器件薄膜層設(shè)于襯底層上方且兩者之間設(shè)有絕緣薄膜層隔離，器件薄膜層包括至少一個電阻敏感柵，每個電阻敏感柵由至少兩條電阻條串接而成，襯底層底部設(shè)有與其相接的絕緣膜基底。該結(jié)構(gòu)減少了電泄漏，提高了傳感器的工作溫度范圍，同時襯底層底部的絕緣膜基底把整個應(yīng)變計連成一片，既保證了電阻敏感柵中電阻條的相對位置不發(fā)生變化，減小全橋電路的失調(diào)電壓，又防止了玻璃膠中的有害雜質(zhì)直接與襯底層、彈性膜接觸，提高了應(yīng)變計與彈性膜之間的絕緣耐壓性能。