一種DSOI應(yīng)變計(jì)及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510395248.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105091730B 公開（公告）日 2019-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN105091730B 申請(qǐng)公布日 2019-05-10
分類號(hào) G01B7/16（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 沈紹群; 羅小勇; 梁棟漢 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新會(huì)康宇測(cè)控儀器儀表工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 廣東和宇傳感器有限公司; 上海旦宇傳感器科技有限公司
地址 529100 廣東省江門市新會(huì)區(qū)會(huì)城西門路圭峰高科技工業(yè)村主車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種DSOI應(yīng)變計(jì)及其制作方法，包括應(yīng)變計(jì)，應(yīng)變計(jì)包括襯底層和器件薄膜層，所述器件薄膜層設(shè)于襯底層上方且兩者之間設(shè)有絕緣薄膜層隔離，器件薄膜層包括至少一個(gè)電阻敏感柵，每個(gè)電阻敏感柵由至少兩條電阻條串接而成，襯底層底部設(shè)有與其相接的絕緣膜基底。該結(jié)構(gòu)減少了電泄漏，提高了傳感器的工作溫度范圍，同時(shí)襯底層底部的絕緣膜基底把整個(gè)應(yīng)變計(jì)連成一片，既保證了電阻敏感柵中電阻條的相對(duì)位置不發(fā)生變化，減小全橋電路的失調(diào)電壓，又防止了玻璃膠中的有害雜質(zhì)直接與襯底層、彈性膜接觸，提高了應(yīng)變計(jì)與彈性膜之間的絕緣耐壓性能。