檢測(cè)激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測(cè)模塊和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023074751.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214427310U 公開(公告)日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214427310U 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 劉文杰;周泉;李靜嫻 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣州德擎光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州藍(lán)晟專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 歐陽(yáng)凱
地址 510290廣東省廣州市海珠區(qū)瀝滘振興大街10號(hào)自編15號(hào)樓C201單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測(cè)模塊和系統(tǒng),該光學(xué)檢測(cè)模塊包括分光元件、減光片組、光電傳感器和一體成型的光學(xué)檢測(cè)模塊外殼;分光元件用于接收檢測(cè)光束,并將檢測(cè)光束分成至少兩個(gè)不同頻段的出射光光束;減光片組用于消減分光元件出射光的光強(qiáng);光電傳感器用于接收減光片組出射光,并輸出進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后的檢測(cè)電信號(hào);分光元件、減光片組和光電傳感器依次排列且全部容置于光學(xué)檢測(cè)模塊外殼內(nèi)。本實(shí)用新型的光學(xué)檢測(cè)模塊外殼整個(gè)結(jié)構(gòu)底座一次加工成型后,內(nèi)置相關(guān)光學(xué)組件,最大程度的保證三路光學(xué)性能偏差的一致性,減少了光電傳感器因光路差異帶來(lái)的檢測(cè)運(yùn)算誤差,提高了光學(xué)檢測(cè)模塊對(duì)入射光反應(yīng)外界激光加工面的檢測(cè)精度。