檢測激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測模塊和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023074751.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214427310U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214427310U 申請公布日 2021-10-19
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉文杰;周泉;李靜嫻 申請（專利權(quán)）人 廣州德擎光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州藍(lán)晟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 歐陽凱
地址 510290廣東省廣州市海珠區(qū)瀝滘振興大街10號自編15號樓C201單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種檢測激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測模塊和系統(tǒng)，該光學(xué)檢測模塊包括分光元件、減光片組、光電傳感器和一體成型的光學(xué)檢測模塊外殼；分光元件用于接收檢測光束，并將檢測光束分成至少兩個不同頻段的出射光光束；減光片組用于消減分光元件出射光的光強(qiáng)；光電傳感器用于接收減光片組出射光，并輸出進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后的檢測電信號；分光元件、減光片組和光電傳感器依次排列且全部容置于光學(xué)檢測模塊外殼內(nèi)。本實用新型的光學(xué)檢測模塊外殼整個結(jié)構(gòu)底座一次加工成型后，內(nèi)置相關(guān)光學(xué)組件，最大程度的保證三路光學(xué)性能偏差的一致性，減少了光電傳感器因光路差異帶來的檢測運(yùn)算誤差，提高了光學(xué)檢測模塊對入射光反應(yīng)外界激光加工面的檢測精度。