檢測激光加工質量的光學檢測模塊和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011510455.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112525922A 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN112525922A 申請公布日 2021-03-19
分類號 G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉文杰;周泉;李靜嫻 申請（專利權）人 廣州德擎光學科技有限公司
代理機構 廣州藍晟專利代理事務所（普通合伙） 代理人 歐陽凱
地址 510290廣東省廣州市海珠區(qū)瀝滘振興大街10號自編15號樓C201單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種檢測激光加工質量的光學檢測模塊和系統(tǒng)，該光學檢測模塊包括分光元件、減光片組、光電傳感器和一體成型的光學檢測模塊外殼；分光元件用于接收檢測光束，并將檢測光束分成至少兩個不同頻段的出射光光束；減光片組用于消減分光元件出射光的光強；光電傳感器用于接收減光片組出射光，并輸出進行光電轉換后的檢測電信號；分光元件、減光片組和光電傳感器依次排列且容置于光學檢測模塊外殼內。本發(fā)明的光學檢測模塊外殼整個結構底座一次加工成型后，內置相關光學組件，最大程度的保證三路光學性能偏差的一致性，減少了光電傳感器因光路差異帶來的檢測運算誤差，提高了光學檢測模塊對入射光反應外界激光加工面的檢測精度。??