一種聲表面波濾波器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810050186.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108155884B 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN108155884B 申請公布日 2021-08-06
分類號 H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張厚玉;張雅;程加保;閆坤坤;黃歆 申請（專利權(quán)）人 北京中科飛鴻科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭立明;鄭哲
地址 100095北京市海淀區(qū)北安河七號工業(yè)大院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器的制備方法，包括：在選定的石英壓電基片上沉積預(yù)定厚度的氧化鋅薄膜材料，生成氧化鋅薄膜層；并在所述氧化鋅薄膜層上實現(xiàn)聲表面濾波器的性能指標(biāo)，獲得聲表面濾波器。本發(fā)明實施例具體是通過在基片材料上制作出合適的壓電薄膜，組成多層結(jié)構(gòu)基片，以提高基片的高阻率和機電耦合系數(shù)，從而大大降低濾波器的插入損耗；同時減小了聲表面波的傳播速度，降低聲表面波的芯片尺寸，減小器件的體積。