一種高精度雙軸傾角傳感器的標定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110491291.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113295184A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113295184A 申請公布日 2021-08-24
分類號 G01C25/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉漢釗;廖欣寧;許靜玲;翁新全;劉瑞林 申請（專利權）人 廈門乃爾電子有限公司
代理機構 廈門天誠欣創(chuàng)知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 何妍
地址 361000福建省廈門市海滄區(qū)坪埕中路29號一層至五層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高精度雙軸傾角傳感器的標定方法，在將雙軸傾角傳感器沿X、Y方向嚴格對準標定臺兩個相互垂直的邊緣并緊密貼合固定于標定臺的表面上后，通過使用在X軸上裝有驅(qū)動電機的標定臺驅(qū)動標定臺的載體平面繞X軸進行旋轉(zhuǎn)，使雙軸傾角傳感器放置在相對于水平面任意傾角上，獲取該傾角下重力加速度在雙軸傾角傳感器測量坐標系上對應的電壓值，之后控制在傾斜角度固定不變的情況下，將雙軸傾角傳感器按照X向Y方向依次旋轉(zhuǎn)并存儲4個方向的加速度對應的電壓值數(shù)據(jù)。通過采用上述標定方法可解決MEMS芯片自身靈敏度差和修正MEMS芯片傳感器在電路板以及電路板在傳感器殼體上初始角和測量方位偏差等問題，使雙軸傾角傳感器測量精度達到0.01°。