一種單晶金剛石生長過程的監(jiān)測方法及監(jiān)測設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911302735.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110823098A 公開（公告）日 2020-02-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN110823098A 申請(qǐng)公布日 2020-02-21
分類號(hào) G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王壘;溫簡杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
地址 201111 上海市閔行區(qū)陪昆路206號(hào)第18幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單晶金剛石生長過程的監(jiān)測方法及監(jiān)測設(shè)備。該監(jiān)測方法包括如下步驟：1)在單晶金剛石生長前，移動(dòng)厚度監(jiān)測設(shè)備在單晶金剛石晶種表面進(jìn)行光學(xué)厚度測量，獲得初始的單晶金剛石表面各檢測處對(duì)應(yīng)的厚度和位置數(shù)據(jù)；2)在單晶金剛石生長過程中，移動(dòng)厚度監(jiān)測設(shè)備在單晶金剛石表面進(jìn)行光學(xué)厚度測量，獲得生長過程中單晶金剛石表面各檢測處對(duì)應(yīng)的厚度和位置數(shù)據(jù)。該監(jiān)測設(shè)備包括厚度監(jiān)測設(shè)備；厚度監(jiān)測設(shè)備包括厚度監(jiān)測部件和物鏡；厚度監(jiān)測部件與物鏡及移動(dòng)平臺(tái)連接，用于獲得單晶金剛石表面各檢測處對(duì)應(yīng)的厚度和位置數(shù)據(jù)。該監(jiān)測方法及裝置可以實(shí)時(shí)監(jiān)測單晶金剛石厚度，一旦局部在高度上可觀測到明顯的變化，進(jìn)而決定是否中斷生產(chǎn)。