一種單晶金剛石生長過程中的監(jiān)測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922288087.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210922513U 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN210922513U 申請公布日 2020-07-03
分類號 G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 分類 -
發(fā)明人 王壘;溫簡杰 申請（專利權(quán)）人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
地址 201111 上海市閔行區(qū)陪昆路206號第18幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種單晶金剛石生長過程中的監(jiān)測裝置，包括化學(xué)氣相沉積設(shè)備、厚度監(jiān)測設(shè)備和移動平臺；化學(xué)氣相沉積設(shè)備設(shè)有沉積室、沉積平臺和可視窗；可視窗用于監(jiān)測放置于沉積平臺上的金剛石，沉積平臺設(shè)于沉積室內(nèi)；厚度監(jiān)測設(shè)備包括厚度監(jiān)測部件和物鏡，物鏡用于通過可視窗監(jiān)測放置于沉積平臺上的金剛石；厚度監(jiān)測部件與物鏡及移動平臺連接，用于獲得單晶金剛石表面各檢測處對應(yīng)的厚度和位置數(shù)據(jù)，物鏡設(shè)于移動平臺上且朝向化學(xué)氣相沉積設(shè)備。該監(jiān)測裝置通過移動平臺和厚度監(jiān)測設(shè)備，可以實時監(jiān)測單晶金剛石厚度，一旦局部在高度上可觀測到明顯的變化，進(jìn)而決定是否中斷生產(chǎn)，減少水、電、氣、人工等各方面的損失。