光阻處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811023793.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110858542B 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN110858542B 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) H01L21/027（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃立民;翁光祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 臺(tái)州創(chuàng)王光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京威禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 318015 浙江省臺(tái)州市集聚區(qū)三甲街道甲南大道東段9號(hào)集聚區(qū)行政服務(wù)中心410室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光阻處理系統(tǒng)以處理一基板所承載的磁性光阻，其中該光阻處理系統(tǒng)包含一固持裝置以及一磁性裝置。該固持裝置具有至少一結(jié)合區(qū)，用以配置該基板；該磁性裝置置于距離該結(jié)合區(qū)的一預(yù)定位置上，且該磁性裝置具有一磁吸方向，對(duì)應(yīng)于該結(jié)合區(qū)，其中該磁性裝置所產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)該磁性光阻具有一磁吸效應(yīng)。