用以制造面板的無塵系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911328436.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111508880A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111508880A 申請公布日 2020-08-07
分類號 H01L21/673;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高瑞懇;陳政欣 申請（專利權(quán)）人 臺州創(chuàng)王光電有限公司
代理機構(gòu) 北京天馳君泰律師事務(wù)所 代理人 創(chuàng)王光電股份有限公司;臺州創(chuàng)王光電有限公司
地址 中國臺灣新竹縣302新竹市復(fù)興1街251號9F-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用以制造面板的方法以及用以制造面板的無塵系統(tǒng)。所述方法包括數(shù)個操作。于一第一機臺中在一基板上進行一第一操作。于一第二機臺中在該基板上進行一第二操作。在該第一機臺及該第二機臺間輸送該基板，其中該基板系在一微環(huán)境中由一面板載運裝置輸送。