一種微透鏡陣列成像光刻裝置設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922429119.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211348993U | 公開（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申請公布號 | CN211348993U | 申請公布日 | 2020-08-25 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張博;路海;馬偉生;黨燕;劉洪濤;許長全 | 申請（專利權(quán)）人 | 新鄉(xiāng)市百合光電有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 新鄉(xiāng)市平原智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 新鄉(xiāng)市百合光電有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)玉龍路西段 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種微透鏡陣列成像光刻裝置設(shè)備，包括裝置主體，所述裝置主體的后端設(shè)置有連接板，所述連接板的內(nèi)部設(shè)置有滑輪，所述裝置主體的前端安裝有固定機構(gòu)，所述裝置主體的后端連接板的上方設(shè)置有把手，所述裝置主體的內(nèi)部設(shè)置有滑桿，所述滑桿的外部裝置主體的前方設(shè)置有移動板，所述移動板的上端設(shè)置有電機箱，所述電機箱的內(nèi)部設(shè)置有散熱機構(gòu)，所述電機箱的內(nèi)部散熱機構(gòu)的下方連接有收集盒。本實用新型所述的一種微透鏡陣列成像光刻裝置設(shè)備，可以便于在裝置的固定，可以便于裝置的內(nèi)部散熱，可以防止灰塵進入到裝置的內(nèi)部，同時也可以收集灰塵，便于裝置內(nèi)部煙氣的排出。?? |
