一種CWDM濾光片的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910480934.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110129737A 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號 CN110129737A 申請公布日 2019-08-16
分類號 C23C14/24;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/115;G02B5/28 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 許遠(yuǎn)飛;王忠德;周強;鄒朋 申請（專利權(quán)）人 天通凱偉科技有限公司
代理機構(gòu) 上海昱澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孟波
地址 314006 浙江省嘉興市亞太路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種CWDM濾光片的制作方法，基底為藍寶石；CWDM濾光片的制作方法包括如下步驟：S1、將藍寶石基板進行第一次超聲波清洗，清洗后進入鍍膜腔室；S2、鍍制主要膜系面；S3、出爐檢測產(chǎn)品性能指標(biāo)是否達標(biāo)，如果符合進入S4，如果不符合則退鍍并重新依次進入S1和S2；S4、經(jīng)S3檢測合格的產(chǎn)品進行第二次超聲波清洗；S5、鍍制另一面的增透膜，即可。本發(fā)明的CWDM濾光片的制作方法工藝簡單，降低了成產(chǎn)成本，制備產(chǎn)品尺寸降低，產(chǎn)品的抗溫飄能力強，在不用惡劣工作條件下仍能正常工作。