一種探針卡承載用調(diào)平平臺(tái)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210199701.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114563603A 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN114563603A 申請公布日 2022-05-31
分類號 G01R1/067（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳亮;劉世文;瞿高峰 申請（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種探針卡承載用調(diào)平平臺(tái)，包括底座、用于防止探針卡的測量臺(tái)、用于驅(qū)動(dòng)所述測量臺(tái)靠近或遠(yuǎn)離所述底座的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和至少三個(gè)用于調(diào)平所述測量臺(tái)的調(diào)平裝置，多個(gè)所述調(diào)平裝置與所述測量臺(tái)的中心位置距離相等，所述調(diào)平裝置位于所述測量臺(tái)與所述底座之間，所述調(diào)平裝置包括固定座、調(diào)平球和用于與所述測量臺(tái)和所述調(diào)平球連接的連接組件；所述固定座安裝在所述底座上方，所述固定座開設(shè)有調(diào)平槽，所述調(diào)平槽沿靠近所述測量臺(tái)中心位置水平延伸，所述調(diào)平球滑移安裝在所述固定座位于所述調(diào)平槽內(nèi)，以使所述測量臺(tái)調(diào)平。本申請具有降低檢測探針卡性能出現(xiàn)誤差的效果。