一種晶圓測試用電磁屏蔽箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123448898.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216747829U 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN216747829U 申請公布日 2022-06-14
分類號 G01R1/18（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉世文;歐曉永;陳亮 申請（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓測試用電磁屏蔽箱，包括經(jīng)過導(dǎo)電處理的箱體、載晶盤以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，箱體具有容置腔，容置腔的上側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有連通孔，連通孔供探針穿入容置腔內(nèi)；箱體的其中一側(cè)外壁設(shè)置有與容置腔相連通的上料窗口，上料窗口處設(shè)置有啟閉門；載晶盤水平活動設(shè)置在容置腔內(nèi)；驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置在容置腔內(nèi)，驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于使載晶盤做水平運(yùn)動。本申請具有在晶圓進(jìn)行測試時能減少外部環(huán)境對晶圓的干擾的效果。