一種晶圓測(cè)試用電磁屏蔽箱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123448898.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216747829U 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN216747829U 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) G01R1/18（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉世文;歐曉永;陳亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種晶圓測(cè)試用電磁屏蔽箱，包括經(jīng)過導(dǎo)電處理的箱體、載晶盤以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，箱體具有容置腔，容置腔的上側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有連通孔，連通孔供探針穿入容置腔內(nèi)；箱體的其中一側(cè)外壁設(shè)置有與容置腔相連通的上料窗口，上料窗口處設(shè)置有啟閉門；載晶盤水平活動(dòng)設(shè)置在容置腔內(nèi)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在容置腔內(nèi)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于使載晶盤做水平運(yùn)動(dòng)。本申請(qǐng)具有在晶圓進(jìn)行測(cè)試時(shí)能減少外部環(huán)境對(duì)晶圓的干擾的效果。