承片臺(tái)升降機(jī)構(gòu)及包括其的探針臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121523464.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215848082U 公開（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215848082U 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) B25H1/16（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 陳亮;劉藝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢迪律師事務(wù)所 代理人 寧菁
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種承片臺(tái)升降機(jī)構(gòu)及包括其的探針臺(tái)，包括U型底座、設(shè)置在所述U型底座上的升降驅(qū)動(dòng)組件，被所述升降驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)上下升降的承片臺(tái)安裝座，設(shè)置在所述承片臺(tái)安裝座上的承片臺(tái)，所述承片臺(tái)包括卡盤，晶圓設(shè)置在所述卡盤內(nèi)，還包括：加熱或制冷組件，于晶圓的下方設(shè)置在所述卡盤內(nèi)，對(duì)晶圓進(jìn)行加熱或制冷；散熱塊，設(shè)置在所述承片臺(tái)和所述承片臺(tái)安裝座之間，其內(nèi)設(shè)置有氣道；風(fēng)機(jī)，設(shè)置在承片臺(tái)一側(cè)，通過(guò)連接管連通所述氣道，將所述加熱或制冷組件產(chǎn)生的傳到所述散熱塊上的熱量或冷氣吹走，以免對(duì)將熱量或冷氣傳遞到承片臺(tái)安裝座上，進(jìn)而影響到升降驅(qū)動(dòng)組件的Z軸重復(fù)定位精度。