一種半自動晶圓測試設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111678658.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114355139A 公開（公告）日 2022-04-15
申請公布號 CN114355139A 申請公布日 2022-04-15
分類號 G01R31/26（2014.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉世文;歐曉永;陳亮 申請（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 齊記;俞振明
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種半自動晶圓測試設備，包括機架，機架具有基準檢測位；載晶盤，活動設置在機架上，載晶盤供晶圓固定放置；探針，設置在機架上，探針遠離機架一端延伸至基準檢測位處；顯微鏡平臺，設置在機架上，顯微鏡平臺位于載晶盤的上方；第一驅(qū)動機構(gòu)，設置在機架上，第一驅(qū)動機構(gòu)用于使載晶盤做水平運動以讓晶圓上的待測試pad點運動至基準檢測位處。本申請具有使晶圓的測試操作更加簡單的效果。