一種半自動(dòng)晶圓測(cè)試設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111678658.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114355139A 公開（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114355139A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) G01R31/26（2014.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉世文;歐曉永;陳亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 齊記;俞振明
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種半自動(dòng)晶圓測(cè)試設(shè)備，包括機(jī)架，機(jī)架具有基準(zhǔn)檢測(cè)位；載晶盤，活動(dòng)設(shè)置在機(jī)架上，載晶盤供晶圓固定放置；探針，設(shè)置在機(jī)架上，探針遠(yuǎn)離機(jī)架一端延伸至基準(zhǔn)檢測(cè)位處；顯微鏡平臺(tái)，設(shè)置在機(jī)架上，顯微鏡平臺(tái)位于載晶盤的上方；第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在機(jī)架上，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于使載晶盤做水平運(yùn)動(dòng)以讓晶圓上的待測(cè)試pad點(diǎn)運(yùn)動(dòng)至基準(zhǔn)檢測(cè)位處。本申請(qǐng)具有使晶圓的測(cè)試操作更加簡單的效果。