一種電磁屏蔽八角盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123451810.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216671566U 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN216671566U 申請公布日 2022-06-03
分類號 H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉世文;歐曉永;陳亮 申請（專利權）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機構 北京維正專利代理有限公司 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種電磁屏蔽八角盒，設置在基板上，基板設置有與晶圓所在空間相連通的觀測孔；包括側板、蓋板、第一密封件以及第二密封件，側板與基板連接，側板呈環(huán)狀，側板的內(nèi)側與觀測孔相連通；側板設置有供探針穿入的第一穿孔，在探針穿入第一穿孔時，第一密封件用于封閉第一穿孔；蓋板連接在側板遠離基板的一端上，蓋板設置有供鏡頭穿入的第二穿孔，在鏡頭穿入第二穿孔時，第二密封件用于封閉第二穿孔。本申請具有能提升晶圓測試的準確性的效果。