轉(zhuǎn)臺(tái)微調(diào)機(jī)構(gòu)及包括該機(jī)構(gòu)的探針臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121523475.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215525889U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215525889U 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類(lèi)號(hào) G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉藝;陳亮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢迪律師事務(wù)所 代理人 寧菁
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種轉(zhuǎn)臺(tái)微調(diào)機(jī)構(gòu)，與轉(zhuǎn)臺(tái)相連并驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，其包括：直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)組件、與所述直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)組件相連的旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件與所述轉(zhuǎn)臺(tái)相連；所述直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)組件，包括直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器和連接板，所述直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述連接板直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)；所述旋轉(zhuǎn)組件，包括豎直設(shè)置在所述連接板上的旋轉(zhuǎn)軸，設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸上并繞其旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)塊，所述旋轉(zhuǎn)塊與所述轉(zhuǎn)臺(tái)活動(dòng)鉸接；還提供一種探針臺(tái)，通過(guò)直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)塊與轉(zhuǎn)臺(tái)活動(dòng)鉸接，從而帶著轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)平緩，不會(huì)像凸輪機(jī)構(gòu)出現(xiàn)運(yùn)動(dòng)沖擊，致使轉(zhuǎn)臺(tái)上的晶圓所有預(yù)測(cè)試位置不能與其上方的探針卡上的探針一一對(duì)應(yīng)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)平緩，操作穩(wěn)定安全。