轉臺微調(diào)機構及包括該機構的探針臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121523475.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215525889U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215525889U 申請公布日 2022-01-14
分類號 G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉藝;陳亮 申請（專利權）人 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
代理機構 北京漢迪律師事務所 代理人 寧菁
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種轉臺微調(diào)機構，與轉臺相連并驅(qū)動其轉動一定角度，其包括：直線驅(qū)動組件、與所述直線驅(qū)動組件相連的旋轉組件，所述旋轉組件與所述轉臺相連；所述直線驅(qū)動組件，包括直線驅(qū)動器和連接板，所述直線驅(qū)動器驅(qū)動所述連接板直線運動；所述旋轉組件，包括豎直設置在所述連接板上的旋轉軸，設置在所述旋轉軸上并繞其旋轉的旋轉塊，所述旋轉塊與所述轉臺活動鉸接；還提供一種探針臺，通過直線驅(qū)動組件驅(qū)動旋轉塊在水平面內(nèi)轉動，旋轉塊與轉臺活動鉸接，從而帶著轉臺轉動，驅(qū)動平緩，不會像凸輪機構出現(xiàn)運動沖擊，致使轉臺上的晶圓所有預測試位置不能與其上方的探針卡上的探針一一對應，該微調(diào)機構運動平緩，操作穩(wěn)定安全。