一種激光SE電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610756795.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106252462B 公開（公告）日 2017-08-11
申請公布號 CN106252462B 申請公布日 2017-08-11
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 勵小偉;梁海;賴儒丹;周濤銘;胡巧;張小明 申請（專利權(quán)）人 寧波樂豐新能源有限公司
代理機構(gòu) 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 代忠炯
地址 315700 浙江省寧波市象山縣泗洲頭鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種激光SE電池的制備方法，它包括以下步驟：1)用金剛線切割硅片；2)制絨；3)利用激光打點的方式在硅片制絨表面均勻地進行打盲孔處理；4)涂抹磷墨在打過盲孔的硅片表面上；5)置于擴散爐，300～500℃通入POCl3混合物2～3min；6)冷卻，取出硅片，涂抹有機溶劑，對硅片表面進行激光掃描；7)刻蝕；8)在刻蝕后的硅片表面鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷，完成正面柵線和背面鋁背場的燒結(jié)。采用激光打點后擴散爐擴散、涂抹有機溶劑激光掃描制備的激光SE電池轉(zhuǎn)換效率高，反射率低，性能最佳。