一種高精度傳感器標(biāo)定工作臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010404018.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111578978B 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN111578978B 申請公布日 2021-06-08
分類號 G01D18/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉軍;王曉偉;程金晶;李海剛;張建功;王鵬;劉健;邵俊賢;黃英坤 申請（專利權(quán)）人 青島智騰微電子有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)名園路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高精度傳感器標(biāo)定工作臺，屬于傳感器標(biāo)定技術(shù)領(lǐng)域，其標(biāo)定臺底座設(shè)置在受環(huán)境溫度影響變形極小的大理石基石上，避免了環(huán)境溫度對基座的影響且降低了環(huán)境溫度對傳感器標(biāo)定精度的影響，傳感器標(biāo)定裝置采用多組軸承相互配合實現(xiàn)了可轉(zhuǎn)動安裝在標(biāo)定臺底座上，傳感器標(biāo)定裝置相對底板可以實現(xiàn)傾斜角度的調(diào)整，而且立臺上設(shè)置有與固定耳座相互配合的多個固定通孔，進(jìn)而固定耳座和圓弧分布的固定通孔相互配合實現(xiàn)多個傾斜角度下的傳感器標(biāo)定裝置固定，同時傳感器標(biāo)定裝置的外部設(shè)置有同軸保溫裝置，相互配合可以實現(xiàn)高精度、高轉(zhuǎn)速和高溫度的傳感器標(biāo)定，通過提供無磁性環(huán)境的同軸保溫裝置實現(xiàn)消除磁性環(huán)境對傳感器標(biāo)定精度的影響。