一種采用石墨爐燒結(jié)的氮化鋁陶瓷基板的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110194661.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112898028A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112898028A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C04B35/581;C04B35/622;C04B35/64;B28B1/29;B28B3/00;B28B11/06;B28B17/00 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 楊大勝;施純錫;馮家偉 申請（專利權(quán)）人 福建華清電子材料科技有限公司
代理機構(gòu) 泉州市誠得知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 賴開慧
地址 362200 福建省泉州市晉江市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)(五里園)靈石路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及陶瓷基板的制備領(lǐng)域，提供一種采用石墨爐燒結(jié)的氮化鋁陶瓷基板的制備方法，解決現(xiàn)有技術(shù)的氮化鋁基板熱導(dǎo)率低、表面不平整及生產(chǎn)效率不高的缺陷，包括以下制備步驟：1)準(zhǔn)備原材料：以氮化鋁粉體為主原料，以Y2O3、CaF2為燒結(jié)助劑；2)球磨；3)脫泡；4)流延；5)沖片：送入沖片機進行沖片分切；6)等靜壓：將分切后的坯體送入等靜壓機進行等靜壓處理，所述等靜壓的壓力為10－14MPa，溫度為80－90℃；7)電動敷粉；8)調(diào)解擋板位置；9)排膠；10)石墨爐燒結(jié)；11)研磨、激光、清洗處理。