一種應(yīng)用于干蝕刻法銅互連大馬士革的電鍍銅溶液及其電鍍銅方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210142820.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114381770A 公開（公告）日 2022-04-22
申請公布號 CN114381770A 申請公布日 2022-04-22
分類號 C25D3/38（2006.01）I;C25D5/36（2006.01）I;C25D21/14（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 姚玉 申請（專利權(quán)）人 深圳創(chuàng)智芯聯(lián)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道留仙二路中糧商務(wù)公園1棟14樓1403A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于干蝕刻法銅互連大馬士革的電鍍銅溶液及其電鍍銅方法，包括以下質(zhì)量濃度的組分：銅鹽5?20g/L；復(fù)合導(dǎo)電劑30?90mg/L；加速劑10?15mg/L；絡(luò)合劑1?8g/L；表面活性劑20?60mg/L；復(fù)合穩(wěn)定劑15?45mg/L；還原劑0.1?0.5g/L。該發(fā)明溶液保證了銅與硅之間不會出現(xiàn)因原子擴(kuò)散而導(dǎo)致器件性能損壞現(xiàn)象；本方案使用無氯加速劑，不會對基材造成損傷，而且電鍍在常溫條件下即可實(shí)現(xiàn)；無需預(yù)先進(jìn)行導(dǎo)電銅沉積這一步驟，縮短了工藝流程。