一種晶體生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921252027.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210560868U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210560868U 申請公布日 2020-05-19
分類號 C30B11/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 胡衛(wèi)東;楊利濤;劉侃;王冬 申請（專利權(quán)）人 合肥嘉東光學(xué)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市長遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 合肥嘉東光學(xué)股份有限公司
地址 230000 安徽省合肥市高新區(qū)黃山路626號高新集團(tuán)大樓318室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出的一種晶體生長爐，包括爐體，爐體包括殼體、內(nèi)筒體和至少一個(gè)隔熱氈，內(nèi)筒體采用絕緣保溫材料制成，隔熱氈設(shè)置在內(nèi)筒體內(nèi)并將內(nèi)筒體隔成多個(gè)溫度區(qū)，每個(gè)隔熱氈中部均設(shè)有用于容納籽晶桿和晶體通過的通孔，每個(gè)溫度區(qū)設(shè)有用于測量該區(qū)溫度的溫度傳感器，每個(gè)溫度區(qū)的內(nèi)筒體內(nèi)側(cè)均設(shè)有用于加熱該溫度區(qū)的加熱組件，每個(gè)溫度區(qū)對應(yīng)內(nèi)筒體和殼體之間設(shè)有用于冷卻該溫度區(qū)的冷卻組件，每個(gè)溫度區(qū)內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)導(dǎo)熱桿，導(dǎo)熱桿穿過內(nèi)筒體與冷卻組件固定連接。本實(shí)用新型可自動調(diào)節(jié)不同溫度區(qū)的溫度，形成適合晶體生長所需的溫度梯度，提高晶體質(zhì)量。