一種用于晶體生長的稱量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921252030.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210529103U 公開（公告）日 2020-05-15
申請公布號 CN210529103U 申請公布日 2020-05-15
分類號 C30B15/28;C30B15/30 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 胡衛(wèi)東;楊利濤;劉侃;王冬 申請（專利權(quán)）人 合肥嘉東光學股份有限公司
代理機構(gòu) 合肥市長遠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 合肥嘉東光學股份有限公司
地址 230000 安徽省合肥市高新區(qū)黃山路626號高新集團大樓318室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，通過設(shè)置驅(qū)動組件驅(qū)動內(nèi)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，內(nèi)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動從而帶動伸縮桿轉(zhuǎn)動，伸縮桿轉(zhuǎn)動從而帶動套筒轉(zhuǎn)動，套筒與螺桿螺紋連接使轉(zhuǎn)動地套筒可沿螺桿的長度方向移動以帶動稱量傳感器與籽晶桿移動，從而實現(xiàn)籽晶桿在提升的過程中旋轉(zhuǎn)，提高溫度場徑向?qū)ΨQ性，長處幾何對稱性的晶體，而且根據(jù)稱量傳感器所檢測的重量信息，驅(qū)動組件驅(qū)動內(nèi)轉(zhuǎn)盤改變轉(zhuǎn)速改變晶體的直徑和提升速度以適應(yīng)不同的要求。