一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110456606.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113151892B 公開（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113151892B 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳立民;趙亮;陳麗芳;王澤東;姜君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 曲靖陽光新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華仁聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李冰
地址 655000 云南省曲靖市曲靖開發(fā)區(qū)翠峰路83號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備，其中，直拉單晶用熱屏裝置包括：內(nèi)層隔熱筒；外層隔熱筒，所述外層隔熱筒圍繞設(shè)置在所述內(nèi)層隔熱筒外側(cè)；熱反射片，所述熱反射片固定連接在所述外層隔熱筒內(nèi)側(cè)周壁上；隔熱墊，所述隔熱墊固定安裝在所述內(nèi)層隔熱筒和所述熱反射片之間；其中單晶硅生產(chǎn)設(shè)備包括:爐體；坩堝，所述坩堝安裝在所述爐體內(nèi)底壁上，所述坩堝底部安裝有旋轉(zhuǎn)裝置；熱屏裝置，所述熱屏裝置用于單晶硅生產(chǎn)過程中的熱屏蔽；充氣裝置，所述充氣裝置用于往爐體內(nèi)充入氣體；直拉裝置，所述直拉裝置用于單晶硅的直拉生長(zhǎng)。通過上述結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，能增大縱向溫度梯度，提高單晶硅的生長(zhǎng)速度，從而提高單晶硅的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。