一種以導(dǎo)流筒為參照的單晶爐液口距單點(diǎn)測量方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110592043.3 申請日 -
公開(公告)號 CN113249781B 公開(公告)日 2022-02-22
申請公布號 CN113249781B 申請公布日 2022-02-22
分類號 C30B15/26(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙亮;李鴻邦;陳麗芳;王澤東 申請(專利權(quán))人 曲靖陽光新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華仁聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李冰
地址 655000 云南省曲靖市曲靖開發(fā)區(qū)翠峰路83號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種以導(dǎo)流筒為參照的單晶爐液口距單點(diǎn)測量方法,包括:步驟A1:用CCD相機(jī)拍攝并獲取導(dǎo)流筒下沿圖像及導(dǎo)流筒下沿倒影圖像;步驟A2:對獲取的圖像通過邊界捕捉,獲得邊界圖形,將橢圓的半圓弧還原為圓形的半圓弧,再擬合獲得導(dǎo)流筒下沿擬合圖像及導(dǎo)流筒下沿倒影擬合圖像;步驟A3:根據(jù)透視原理計算得到液口距H。一種以導(dǎo)流筒為參照的單晶爐液口距單點(diǎn)測量裝置,其特征在于,包括:CCD相機(jī),所述CCD相機(jī)通過定位裝置安裝在單晶爐上側(cè),所述定位裝置安裝在所述單晶爐上;導(dǎo)流筒,所述導(dǎo)流筒固定安裝在所述單晶爐內(nèi)側(cè)壁上。通過上述方法及裝置的設(shè)計,可避免預(yù)設(shè)系數(shù)、尋找邊界對應(yīng)點(diǎn)等不可控因素,可實(shí)時對液口距進(jìn)行精準(zhǔn)計算與控制。